《MEMES压力传感器技术组成分析》PDF+DOC

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2. 《MEMS压力传感器工艺可靠性测试评价》PDF+DOC 随着MEMS技术的飞速发展，可靠性问题逐渐成为MEMS器件在军事和商业中应用的重要阻碍。结合器件的工作环境，分别从高温、高温高湿、温度冲击、过电压、压力过载、温湿循环等环境负载方面探讨硅压阻式MEMS压力传感器的工艺可靠性问题。试验结果表明，环境负载后，圆片级器件特性参数基本无变化，而封装级器件特性......
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4. 《MEMS传感器的真空密封技术》PDF+DOC 文章介绍了MEMS传感器的几种真空密封方法，提出了一种真空密封方法的设想。...
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6. 《用于MEMS器件的真空密封技术》PDF+DOC 介绍MEMS器件中常用的键合技术和适用于真空密封与器件性能要求的特殊结构设计，以及提高和保持器件高真空环境的方法。合适的真空密封技术不仅能够保证和提高MEMS器件的性能，同时可以简化工艺步骤，降低器件成本。...
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10. 《MEMS压力传感器的可靠性评价方法》PDF+DOC MEMS压力传感器是用半导体制造工艺制备的微机械器件，是一种包含各种物理和化学理论的复杂系统，因而在评估其可靠性时不仅要考虑到传统的电学性能，还应该考虑其特殊的机械结构、材料力学等方面的的可靠性评价方法。概述了MEMS传感器产品最主要的失效现象，并着重介绍了常用的可靠性评价标准和测试项目。...