作者：丁俊文,张国军,杨晟辉,尚珍珍,张文栋 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2017年第10期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2017100050 DOC编号：DOCBDTQ2017100059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS矢量水听器定位误差分析与测试》PDF+DOC2011年第06期 宋小鹏,张丛,赵玉林,尹彦梅,石归雄,薛晨阳 《基于磁电式转速传感器宽频转速检测系统研究》PDF+DOC2017年第03期 王浩,赵小勇,赵刚,杨恒辉,徐杰 《MEMS高g加速度传感器高过载能力的优化分析》PDF+DOC2018年第06期 杜彬 《仿蟋蟀尾毛的MEMS振动传感器有限元仿真分析》PDF+DOC2020年第04期 刘林仙,王朝阳,乔楠楠 《一种仿侧线神经丘的MEMS矢量水听器设计》PDF+DOC2019年第07期 张小勇,沈倪鑫,尚珍珍,纪松祥,张国军 《MEMS压阻超声传感器的设计与优化》PDF+DOC2012年第05期 宛克敬,何常德,廉德钦,薛晨阳 《高灵敏度扇面纤毛式MEMS矢量水听器》PDF+DOC2018年第04期 杨晟辉,丁俊文,张国军,裴毓,尚珍珍 《流体对MEMS矢量水听器共振频率的影响》PDF+DOC2014年第06期 刘源,陈丽红,张国军,赵鹏,申辉,张文栋 《基于腰部移动模型的行走步长计算方案》PDF+DOC2012年第08期 任凯天,刘昱,汪少初 《MEMS仿生矢量水听器的微结构优化设计》PDF+DOC2014年第09期 简泽明,张国军,刘梦然,张文栋

    • 针对目前纤毛式MEMS矢量水听器灵敏度和带宽的相互制约，无法实现在高灵敏度的情况下还能有较大的可测带宽。基于此，设计了一种单梁结构的一维MEMS矢量水听器，经理论分析和ANSYS仿真分析，确定了微结构的尺寸，仿真结果显示有挖空式结构较无挖空式结构在X轴最大应力上提高了5.12%，探测带宽增大了53.26%。并对挖空式微结构进行了工艺设计，简化了工艺流程，提高了成品率。最后，用矢量水听器校准装置进行测量，实验结果表明，该一维MEMS矢量水听器具有20~2 000 Hz的可测带宽，满足灵敏度每频程6 dB的增长趋势，具有良好的“8”字型指向性，凹点深度为-32.4 dB。

    📙 相关资料

    1. 《MEMS矢量水听器定位误差分析与测试》PDF+DOC 针对一种纤毛式微机械电子(MEMS)矢量水听器的工作原理进行分析，通过分析得出该矢量微传感器的定位误差主要来源于纤毛柱体的偏差。通过有限元仿真分析得出纤毛柱体的偏差对矢量水听器在两个方向上的灵敏度有较大影响，理论计算出在纤毛偏移下2个轴向灵敏度度误差为9.74%。对水听器结构进行轴向灵敏度测试，测出......
    2. 《基于磁电式转速传感器宽频转速检测系统研究》PDF+DOC 针对磁电式转速传感器信号调理电路无法兼顾低频段小信号检测和高频段抗干扰的问题，设计了一种双阈值调理电路，并使用仿真软件Multisim对其进行了仿真分析，仿真结果验证了电路的功能。同时基于该电路特性设计了表决算法，经试验验证表明，所设计的转速检测系统在测量频率很宽时能达到很高的精度。...
    3. 《MEMS高g加速度传感器高过载能力的优化分析》PDF+DOC 通过设计一个量程为15万克、抗过载为20万克的抗高过载能力的MEMS加速度传感器，分析了多种传感器的利弊，选择压阻式加速度传感器作为研究对象。创建该加速度传感器结构的力学模型，然后在模型上分析其结构的应力、频率及阻尼进行分析，完成结构参数的优化及确定。在ANSYS环境下，通过对结构的静态和模态仿真分......
    4. 《仿蟋蟀尾毛的MEMS振动传感器有限元仿真分析》PDF+DOC 基于MEMS技术和仿生学设计了一种纤毛+薄膜振动传感器敏感结构，由垂直纤毛和两个相互垂直的悬臂梁构成信息接收和传递单元，沉积在与悬臂梁末端固连的硅衬底薄膜上的PZT压电薄膜作为敏感转化单元.建立了该传感器结构的等效运动模型，在此基础上对传感器的输出特性和频率特性进行了数学分析.利用ANSYS有限元软......
    5. 《一种仿侧线神经丘的MEMS矢量水听器设计》PDF+DOC 基于仿生学原理，设计了一种仿侧线神经丘的微电子机械系统(MEMS)矢量水听器。该水听器采用环形纤毛模拟鱼类侧线神经丘中的纤毛束与胶质顶，通过4个十字梁与集成在梁上的压敏电阻将声信号转换为电阻变化量，由电阻构成Wheatstone电桥将电阻变化量转换为电压信号。使用ANSYS软件对水听器结构进行了仿真......
    6. 《MEMS压阻超声传感器的设计与优化》PDF+DOC 提出了一种新的压阻式超声传感器结构，该结构由主振梁和微传感梁组成，在声压的作用下，主振梁振动从而带动微传感梁的振动。通过有限元软件Ansys仿真分析该结构的灵敏度，并与悬臂梁结构压阻式声传感器相比，结果表明灵敏度有了一定的提高。为了实现结构的优化，仿真了结构的尺寸与共振频率的关系，对相同共振频率的结......
    7. 《高灵敏度扇面纤毛式MEMS矢量水听器》PDF+DOC 目前微机电系统(MEMS)矢量水听器的研究出现瓶颈。大量实验表明，水听器的灵敏度与探测带宽存在着相互制约关系。为保证水听器具有20~500 Hz的针对远距离船舶辐射噪声的可探测带宽，急需提高MEMS矢量水听器在低频探测的灵敏度。该文在普通纤毛式MEMS矢量水听器的基础上，提出在柱形纤毛上集成十字扇面......
    8. 《流体对MEMS矢量水听器共振频率的影响》PDF+DOC 由中北大学研制的MEMS仿生矢量水听器具有低频、灵敏度高等性能特点，但是由于流体的影响，水听器微结构在空气中的共振频率与液体中不同，为此研究了流体对MEMS矢量水听器共振频率的影响。首先，理论上分析了流体对共振频率的影响。然后，采用ANSYS对空气中和液体中MEMS矢量水听器的共振频率进行仿真。最后......
    9. 《基于腰部移动模型的行走步长计算方案》PDF+DOC 针对行走时腰部运动轨迹的特性，提出了一种利用微电子机械系统(micro-Electrical-mechanical systems，MEMS)计算行进位移的方案。这种方法将MEMS置于腰部，利用MEMS采集测试者行进过程中的加速度和角速度数据。6名测试者参加了实际环境中的测试，每位测试者进行了8次实......
    10. 《MEMS仿生矢量水听器的微结构优化设计》PDF+DOC 压阻式的MEMS仿生矢量水听器的固有频率和灵敏度之间是相互制约的，即随微结构的各个尺寸(悬臂梁的长、宽、高及中心连接体的边长)的变化，二者呈现相反的趋势。通过理论分析和推导，得出每个尺寸对水听器固有频率和灵敏度的影响程度不一致，可以合理地设计微结构的各个尺寸(最优解)，使矢量水听器在具有相同固有频率......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。