作者：孟萌,武文革,张勇,成云平,刘丽娟,隋安平 单位：成都工具研究所 出版：《工具技术》2017年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJJS2017070070 DOC编号：DOCGJJS2017070079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了研制出适用于高温等恶劣环境且性能优良的用于切削力测量的合金薄膜传感器，结合新型合金薄膜材料的基本性能和离子束、磁控溅射技术，研究了新型薄膜传感器的制作工艺，建立了影响薄膜溅射速率的试验分析模型，研究了氩气流量、氩气工作压强及溅射功率三个因素对薄膜溅射速率的影响，应用响应曲面法对模型进行了优化，并运用方差分析检验了该预测模型的拟合度，建立了溅射速率的等值线和响应面，从而确定了各因素的最佳水平范围，实现了工艺参数的优化。

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