作者：贾彦彦,赵同新,李哲夫 单位：中国物理学会 出版：《电子显微学报》2017年第03期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZXV2017030160 DOC编号：DOCDZXV2017030169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 简述了微束分析仪器电子探针(EPMA)和扫描电镜(SEM)的原理和功能，对比了波谱仪(WDS)和能谱仪(EDS)的差异。使用这两类仪器对稀土镁合金、铝合金焊接区域及镍合金渗碲实验样品进行了测试和分析。结果表明镁合金中稀土的分布主要富集于晶界但不连续；铝合金焊接区域的元素存在局部偏聚现象；碲在镍基合金晶界富集，并沿着晶界向基体扩散。这些不同类金属的元素分布特征都可以在EPMA的面分析结果上直观体现出来。同时对比了EDS和WDS的性能，在微区分析中WDS的分辨率和灵敏度均较EDS更有优势。

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