《基于旋转谐振结构的单芯片二维电场传感器》PDF+DOC
作者:王宇,方东明,陈博,彭春荣,夏善红
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2016年第02期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2016020320
DOC编号:DOCCGQJ2016020329
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提出并研制了一种二维电场检测传感芯片,将四个电场测量微型单元和旋转式驱动微结构集成在3.5 mm×;3.5 mm的敏感结构上,实现了单芯片的电场二维测量。介绍了传感器的工作原理、敏感结构的设计,以及基于绝缘体上硅(SOI)工艺的单芯片微型二维电场传感器制备工艺技术。成功研制出传感器原理样机,研究了微型二维电场传感器的标定方法,开发了用于电场二维标定的测试装置,并在室温常压下对传感器进行了二维标定。实验结果表明:该传感器能够有效减小电场的轴间耦合干扰,测量误差优于7.04%,线性度可达到1.25%。
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