作者：郭鹏程,张志伟,张文静,蔡睿博,张彩凤,邓楠,李庆圣 单位：华中光电技术研究所;湖北省光学学会 出版：《光学与光电技术》2017年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXGD2017050090 DOC编号：DOCGXGD2017050099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了位置敏感传感器(Position Sensitive Detector，PSD)的基本原理及特性，设计了一种基于一维PSD探测器的位移测量系统。针对PSD只与光的能量重心有关、光敏面无死区、可连续测量光斑位置的应用特点，设计了PSD后续的信号处理电路及上位机显示系统。单片机(MCU)通过ADS7825UB采集PSD输出的位置信息，经过处理后由USB接口传给上位机，上位机控制面板可控制数据采集，并进行位移值显示，从而完成对位移的测量。实验结果表明，测量分辨率可达0.1μm，测量误差在&#177；6μm内，可在位移测量领域推广使用。

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