《微型磁通门的优化分析与性能测试》PDF+DOC
作者:吕辉,郅富标
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2017年第04期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2017040070
DOC编号:DOCCGJS2017040079
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对铁芯结构的改进有利于满足微型磁通门传感器降低功耗的要求,但不同的拓扑结构所取得的效果不同,为此对铁芯结构进行了优化分析,并采用MEMS工艺制备了不同铁芯结构的微型磁通门进行性能测试与对比验证。测试结果表明,优化后的多孔铁芯结构能更好的降低微型磁通门传感器的功耗与噪声,提高灵敏度,改善器件的整体性能。
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