《六自由度压电微动平台测量系统开发》PDF+DOC
作者:焦振瑞
单位:成都工具研究所
出版:《工具技术》2017年第02期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGJJS2017020380
DOC编号:DOCGJJS2017020389
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针对精密机械以及精密加工等领域需要纳米级的定位精度,开发出由三组二自由度高精度测量模组组成的六自由度压电微动平台。该平台通过NI软硬设备的有效整合,改变压电制动器移动量,调整微动平台六自由度实现定位。通过三组二自由度测量模组输出的二维光点坐标,测量六轴微动平台位移参数。同时对各模组的安装误差采用正角度补偿和雷射角度补偿,以满足平台高精度需求。经过综合测试表明,系统线性解析度达到10nm,角度解析度为0.1arcsec,系统位移跳动量0.022μm,角度跳动量为0.06 arcsec,能达到即时精确定位。
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