作者：唐海泉,张辉,冀健龙,张强,菅傲群,桑胜波,段倩倩 单位：河北科技大学 出版：《河北科技大学学报》2017年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHBQJ2017010050 DOC编号：DOCHBQJ2017010059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《铌酸锂晶体波导散斑温度传感器的研究》PDF+DOC2018年第04期 朱松河,武鹏飞,刘洪亮 《电光开关与GeSi红外传感器集成的可行性讨论》PDF+DOC1996年第04期 李国正,刘恩科 《集成光波导电场传感特性的研究》PDF+DOC1997年第S1期 李玉善,马少杰 《新颖的光波导损耗测量方法》PDF+DOC1992年第03期 冯浩,李锡华,杨佐娅,王明华 《氧化硅亚微米纳米线光波导的制备》PDF+DOC2005年第05期 姜玲玲,隋成华,姜吉光 《基于光学微腔的MOEMS微位移传感器》PDF+DOC2011年第02期 刘正,严英占,刘俊,闫树斌 《光波导元件检测二氧化硫气体的方法研究》PDF+DOC2008年第03期 买里克扎提.买合木提,麦麦提依明.马合木提,玛丽娅.马木提,阿布力孜.伊米提

    • 光波导器件在许多领域都有着广泛的应用和良好的发展前景。而波导器件表面粗糙度影响传输光损耗和环形腔Q值，制约光波导器件的发展和应用。目前常用波导器件表面和侧壁光滑化方法有热氧化法、激光束法和氢退火法，其中氢退火法有较好的光滑化效果，但对于氢退火工艺的机理并不清楚，无法进一步优化实验参数，达到最佳实验效果。在对上述内容进行综述的基础上，通过Materials Studio仿真分析，初步研究了退火机理，基于仿真研究结果，分析氢气环境对退火过程的意义，为应用氢退火工艺对波导器件光滑化实验提供理论指导。

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