作者：胡谢琼,王允,邱丽荣,赵维谦,张旭升,朱恪 单位：中国兵工学会;北京理工大学;中国北方光电工业总公司 出版：《光学技术》2017年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJS2017040030 DOC编号：DOCGXJS2017040039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了满足生物类等样品对大工作距和高分辨率共焦显微镜的需求，将分光瞳技术与激光共焦显微技术结合应用到成像系统上。阐述了激光分光瞳共焦显微成像原理，首次成功搭建了相应的显微镜成像测量系统。理论分析和实验表明：分光瞳共焦显微技术独特的非共轴结构使系统的轴向分辨力是相同数值孔径物镜单轴系统的3倍以上，对理论高度为100nm的台阶样品进行成像测试，得到的样品三维形貌，成像质量良好。

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