作者：宋智林,刘霞,张丽,全志勇 单位：中国物理学会原子与分子物理专业委员会;四川省物理学会;四川大学 出版：《原子与分子物理学报》2017年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYZYF2017010210 DOC编号：DOCYZYF2017010219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文利用磁控溅射的方法制备了L1_0-CoPt薄膜，研究了不同退火条件对薄膜结构、磁性以及表面形貌的影响.通过优化退火温度、保温时间以及升温速率，制备出了具有大矫顽力、高矩形比、粗糙度小的垂直各向异性L1_0-CoPt薄膜.实验发现，较高的退火温度有利于克服CoPt薄膜有序化转变所需要的能量，同时适当延长退火时间可以提高CoPt薄膜的扩散系数，从而促使无序相fcc转化为L1_0有序相fct结构.此外，退火过程中减缓升温速率可以有效减小薄膜粗糙度，从而形成平整连续膜。

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