作者：姚靖威,唐燕,周毅,邓茜,赵立新,胡松 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《半导体技术》2017年第03期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTJ2017030140 DOC编号：DOCBDTJ2017030149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 白光垂直扫描干涉测量方法具有高精度、大量程并且为非接触测量等优点，因此被广泛地应用于半导体、微机电系统(MEMS)等检测领域。传统的白光扫描干涉仪采用压电(PZT)陶瓷驱动器，虽然能实现高精度的测量，但存在量程小、测量效率低等缺点。基于此，提出了以步进电机作为驱动器、高精度光栅尺作为位置反馈的白光干涉垂直扫描运动平台，并设计了以现场可编程逻辑门阵列(FPGA)为核心处理器的控制板卡。实验证明，该运动平台在运动速度为50μm/s时，定位偏差小于15 nm，最大行程为3 mm，实现了高精度、大行程以及高效率的扫描检测。可以以较低的成本实现对具有高深宽比的微纳器件形貌的检测。

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