作者： 单位：华北计算机系统工程研究所 出版：《》 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZJY2017050470 DOC编号：DOCDZJY2017050479 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • Analog Devices，Inc.(ADI)最近推出两款专门针对工业条件监测应用而设计的高频率、低噪声MEMS加速度计ADXL1001和ADXL1002。利用这些MEMS加速度计可实现高分辨率振动测量，为早期发现轴承故障和机器故障的其他常见原因提供必要的信息。过去，可用高频MEMS加速度计的噪声性能不及传统技术，阻碍了其应用，使得MEMS的可靠性、高质量和可重复性得不到发挥。如今，ADXL1001和ADXL1002在高频率范围的噪声性能与现有压电传感器技

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