作者：张瑞,梁庭,贾平岗,刘雨涛,王涛龙,王心心,熊继军 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2016年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2016010070 DOC编号：DOCYBJS2016010079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 小量程压力传感器研制的主要目的是解决低压环境下的压力测量问题。结合CMOS-MEMS技术，提出了一种小量程电容式压力传感器设计方案。利用ANSYS软件分析了传感器压敏结构的静力学性能和动力学性能，验证了理论设计的可行性。传感器可动上极板厚度仅为3μm，提高了小量程压力测量时的灵敏度，可以测量1~50 k Pa范围内的压力。研究了制备工程中的关键工艺，介绍了传感器芯片的加工流程。所设计的传感器制作简单，成本低廉，易于单片集成，拓展了MEMS压力传感器的小量程应用领域。

    📙 相关资料

    1. 《小量程MEMS电容式压力传感器的研究与发展》PDF+DOC 介绍了电容式传感器在小量程压力测量领域的优势和目前研制小量程MEMS电容式压力传感器的技术难点。从实现MEMS电容式传感器小量程压力测量的不同方法出发，详细论述了国内外的研究成果、关键技术及应用情况。最后分析总结了小量程MEMS电容式压力传感器的发展方向与挑战。...
    2. 《电容式测压微型传感器》PDF+DOC 文中主要介绍一种新型电容式测压微传感器的结构及测量电路。通过对测量电路的理论分析、仿真和实验验证，证明这种微型传感器由于采用独特的结构和测量电路，因而具有良好的线性范围和较高的灵敏度，并能有效地减小温度误差...
    3. 《陶瓷电容式压力传感器的原理分析》PDF+DOC 压力传感器是车辆电子控制装置获得信息的主要元件之一，本文通过对电容式压力传感器基本原理的分析，阐述在电容敏感材料变为陶瓷时，其性能、特点、精度及相应的信号处理，使其在低成本的基础上，广泛地应用于社会的各个领域。...
    4. 《车用新型陶瓷电容式压力传感器》PDF+DOC 压力传感器是车辆电子控制装置获得压力信息的主要元件之一，文章通过对电容式压力传感器基本原理的分析，阐述在电容敏感材料变为陶瓷时，其性能、特点、精度及相应的信号处理，使其在低成本的基础上，广泛地应用于社会的各个领域。...
    5. 《电容式称量传感器在高温环境中的应用》PDF+DOC 文章介绍了电容式称量传感器的原理、结构、特点及补偿方法。...
    6. 《转动极板悬空设计的数字电容角位移传感器及其温度特性测试》PDF+DOC 在比例式电容测角原理的基础上，设计了一种转动极板为金属材质且为电气悬空设计的数字型角位移传感器，满足180&#176；的测量范围.该传感器具有本质可靠性，无需额外补偿环节，即可对环境温度，潮湿，灰尘等共模干扰具有良好的抑制作用.针对快速变化的温场，进行了基于该原理的角位移传感器的温度特性测试......
    7. 《电容式粮食水分检测技术的探讨与研究》PDF+DOC 本文阐述了粮食水分检测的重要性，介绍了电容式粮食水分检测技术的原理、特点及检测方法。在对2种检测方法综合分析的基础上指出了现有电容式粮食水分仪存在的问题，提出了电容式粮食水分检测技术的发展方向。...
    8. 《用于液滴分析的光电液滴传感器的设计研究》PDF+DOC 介绍一种用于液体特性研究的光电液滴传感器(PLDS)，其原理是基于插入液滴内部的光纤，及由滴头和环形极板构成的电容传感器。传感器中集成了二极管及部分处理电路，并对滴头及相关零件作了特殊的机械结构设计，从而能够有效地解决光信号强度损失严重、输出信号易受干扰、光纤位置不稳定、气泡影响液滴形状和滴头部件难......
    9. 《微梁结构热偶微波功率传感器芯片的制作工艺》PDF+DOC 在微波技术研究中 ，微波功率是表征微波信号特性的一个重要参数。微波功率测量已成为电磁测量的重要部分 ，可应用于很多场合 ，如发射机输出功率 (包括天线系统辐射的功率 )和振荡器输出功率的测量、毫瓦计的校准、标准信号发生器的校准等。微波功率传感器是微波功率计探头中的核心元件。微梁结构热偶微波功率传感器......
    10. 《DS18B20在温度监测系统中的应用》PDF+DOC 介绍温度传感器芯片DS18B20内部结构和工作原理，并说明了该芯片用于实时数据存储的作用，给出对DS18B20接口芯片与单片机的连接以及软件设计方法，基于DS18B20所设计的监测系统在应用中具有实时性好、测量精度高的特点。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。