作者：李学威,何书龙,赵治国 单位：大连组合机床研究所:中国机械工程学会生产工程分会 出版：《组合机床与自动化加工技术》2017年第08期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZHJC2017080200 DOC编号：DOCZHJC2017080209 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 文章设计一种300mm硅片真空传输系统，满足市场对硅片传输过程高精度，高洁净度，高效率的需求。其中硅片传输腔室采用真空设计，并优化了真空腔室的结构以适应300mm硅片传输，真空度可达2&#215；10~(-7)Torr。真空机械手采用对称连杆直驱机械手，大气机械手采用R-θ型机械手，其重复精度均为&#177；0.1mm。设计了AWC纠偏检测系统，利用光电对射传感器，实现对硅片的实时检测及位置纠正。通过验证性试验数据分析，得到整个系统的整体精度、洁净度、真空度和真空变化值满足工作要求，验证了设计的合理性。

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