《MEMS加速度计性能已臻成熟》PDF+DOC

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2. 《MEMS超薄动态压力传感器》PDF+DOC 针对高铁、飞机等高速运行设施对动态压力监测提出的要求，研制了一种压阻式微电子机械系统(MEMS)超薄动态压力传感器。采用有限元分析(FEA)软件ANSYS对5种压力传感器芯片结构进行了仿真对比分析，结合MEMS加工工艺，设计的传感器芯片采用线性好、灵敏度高、固有频率高的单岛膜结构。利用硅通孔(TSV......
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4. 《一种微型隧道效应磁强计的设计》PDF+DOC 隧道效应传感器是一种灵敏度很高的位移传感器 ，其原理已经被用于微加速度计和红外传感器的设计。文中介绍了基于这一原理的微型磁强计 ，对传感器的固有频率和驱动电压进行了分析和计算。...
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6. 《MEMS传感器整合解决方案》PDF+DOC MEMS传感器包括测量线性加速度和地球重力矢量的加速度计、测量角速率的陀螺仪、测量地球磁场强度以确定方位的地磁计和测量气压以确定高度的压力传感器。把这些传感器整合在一起将会大幅扩大这些传感器的应用范围。本文以互补滤波器、卡尔曼滤波器和扩展型卡尔曼滤波器(EKF)为例，论述在一个传感器整合解决方案内如......
7. 《隔离型标准RS422大角度高精度倾角传感器设计》PDF+DOC 介绍了利用基于MEMS加速度计测量大角度的工作原理；阐述了该测量系统的硬件结构和软件设计模块；通过给出测量数据证明该设计方法达到了高精度的要求。...
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10. 《基于压电能量收集技术的无线传感器节点设计》PDF+DOC 针对传统无线传感器模块在复杂环境中电池适应性差、维护困难的弊端，设计了基于压电能量收集自供电技术，并具有超低功耗特性的无线传感器网络节点模块；方案采用PZ★T陶瓷实现压电换能，围绕LTC3588-1进行电源管理，提出了以CC430作为控制核心的应用端低能耗工作模式算法，实现完整的系统构建；实验表明，......