作者：段宏伟,郑文 单位：中北大学 出版：《中北大学学报(自然科学版)》2017年第03期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHBGG2017030160 DOC编号：DOCHBGG2017030169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对目前压阻式加速度计分辨率不高的特点，设计了一种基于约瑟夫逊效应与硅压阻效应相结合的检测高g值的微机械加速度计，其具备信噪比低和分辨率高等优点.该加速度计采用四悬臂梁质量块结构，在悬臂梁根部附近布置压敏电阻，可将加速度输入转化成硅晶格的应变，从而引起压阻器件的阻值变化，并使测量电路的惠斯通电桥两端的电压发生变化，将该电压通过约瑟夫逊效应原理测量出来，则可反推出悬臂梁上所施加的力.通过Ansys软件对加速度计的静态及动态性能进行仿真，得出该加速度计的量程为200 000g，带宽为220kHz，响应时间为1.09μs，分辨率小于1g。

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