作者：万峰华,胡威,张彤 单位：东南大学 出版：《电子器件》2017年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZQJ2017030010 DOC编号：DOCDZQJ2017030019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种基于马赫增德尔干涉仪(MZI)的聚合物光学波导加速度计。理论推导了MZI结构的传输函数，仿真分析了悬臂梁结构参数与器件灵敏度的关系，制备得到了4μm&#215；4μm单模传输芯层波导的传感芯片。搭建了集成光学加速度测试系统，采用比较校准法对探测器输出电压信号进行标定，实现了传感芯片因施加加速度后输出光强变化的测试，完成了加速度测量。该加速度传感芯片分辨率为10~(-2)g_n，动态范围为&#177；2 gn。

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