作者：刘丽丽,刘丽,李海英,王连元,何越 单位：中国真空学会 出版：《真空科学与技术学报》2016年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKKX2016010020 DOC编号：DOCZKKX2016010029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计了一种新型微气敏传感器的结构，采用SnO_2作为敏感材料，并利用ANSYS软件仿真分析，优化了该传感器的某些结构参数。结果得出：传感器基底结构中从上往下SiO_2-Si-SiO_2三层材料的厚度依次为10，120，170μm，加热电极和测量电极宽度为10，30μm时，微传感器SnO_2材料区域的温度为高温态且分布均匀，并且此结构的传感器中心材料区域的磁场强度为最小值9.84&#215；10~(-10)A/M，与最大值383.066 A/M相比可忽略不计。

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