作者：陈亚英,张杰,张鸣 单位：西安微电机研究所 出版：《微电机》2017年第06期 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWDJZ2017060010 DOC编号：DOCWDJZ2017060019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在集成电路制造领域，为实现对硅片的加工和检测，运动台需要承载硅片进行三自由度大行程运动，包括沿x、y轴的大行程平动和绕z轴的大角度旋转。针对上述运动需求，本文以圆形线圈无铁心永磁平面电机为研究对象，利用圆形线圈的旋转不变性，采用洛伦兹法则对其进行电磁建模，得出满足平面电机运动控制需求的实时解析模型。然后，利用基于Moore-Penrose伪逆法的电磁力和力矩解耦策略，以电机连续最大功耗最小为评价指标，对平面电机参数进行优化设计。依据设计结果，加工制作了实验样机，并基于样机平台对本文提出的实时电磁模型进行了验证，模型计算结果与实验结果一致；电机进行电磁力和力矩解耦时，最大出力误差小于6%。最后，利用样机实现了100 mm&#215；100 mm的面内大行程平动和绕z轴360&#176；转动，验证了电磁模型与电机结构的有效性。

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