作者：苗斌,李加东,张轲,吴东岷 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2016年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2016040120 DOC编号：DOCYDSG2016040129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 随着微纳技术、生物医学、航空航天等领域的发展，微小力值的计量得到了越来越广泛的应用。针对无源悬臂梁力值传感器的使用需求，研究了影响悬臂梁弹性系数的因素，设计了一组弹性系数为0.041~21.125N/m的无源悬臂梁力值传感器件，采用基于绝缘体上硅(SOI)硅片微机电系统(MEMS)工艺对器件进行制备，实验结果表明，制备的器件尺寸精度达到0.2%，器件的均匀性和成品率均可控。

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