作者：张程浩,陈若愚,董世杰 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2017年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2017060060 DOC编号：DOCYBJS2017060069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 制作了PNZT薄膜驱动的压电微悬臂梁，将压电微悬臂梁的模型简化为压电层-结构层双层微悬臂梁模型，并使用理论计算和有限元仿真软件分析了双层微悬臂梁模型的基频，最后用激光多普勒测振仪对微悬臂梁结构进行了测试。结果表明，仿真、理论和实验测试结果在一定程度上符合得很好，为以后此类压电微悬臂梁的制作和基频的计算提供了参考。

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