作者：邢永豪,谢波,陈健,陈德勇,王军波 单位：中国工程物理研究院;中国核学会;四川省核学会 出版：《强激光与粒子束》2016年第06期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFQJGY2016060310 DOC编号：DOCQJGY2016060319 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 谐振式压力微传感器因其高精度、高稳定性及准数字输出等特性而广泛应用于气压监测、航空航天等领域。相较于其他结构，差分谐振式具有灵敏度高、线性度好及温度漂移小等优势。然而，要获得差分谐振式压力微传感器的最优性能，仍需解决差分谐振梁灵敏度不匹配的问题。在仿真与实验的基础上，对差分谐振式压力微传感器的灵敏度匹配特性进行了相关研究。根据研究结果，对传感器的结构参数进行了优化设计。两谐振梁的设计灵敏度为&#177；46 Hz/kP，实验结果显示中心梁的实际灵敏度为45Hz/kPa，边梁的实际灵敏度为-44Hz/kPa，差分输出的线性度高达0.999 999 9。

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