作者:潘民杰,刘鲁萍,李金财,李培刚 单位:中国西南应用磁学研究所 出版:《磁性材料及器件》2017年第04期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCXCQ2017040020 DOC编号:DOCCXCQ2017040029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 利用超高真空磁控溅射系统,通过改变生长气压、生长功率等制备了矫顽力小、方形度好的FeCo、FeGa磁性薄膜。以FeCo作为自由层,并在其引入大磁致伸缩系数材料FeGa,获得具有FeCo/FeGa复合自由层的自旋阀结构。通过优化薄膜厚度获得了磁电阻比5.9%、自由层矫顽力34 Oe的最佳综合磁性能。将具有复合自由层的自旋阀结构制备在柔性聚对苯二甲酸乙二酯衬底上,在接近2%的拉应变作用下,器件有良好的应变响应,其磁电阻比从5.9%几乎线性地降至4.9%,因此可以用于柔性应变传感器。

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