《丙酮气体传感器的PANI/Au/Al_2O_3电极制备工艺优化》PDF+DOC
作者:刘文龙,李俊霞,易攀婷,杜景顺,郭升赢,张崟
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2016年第09期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2016090190
DOC编号:DOCCGQJ2016090199
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以微制程技术及电化学法制备PANI/Au/Al2O3电极,并组装成电阻式丙酮气体传感器。以恒电流法在不同电流密度下进行三阶段聚合,并利用混合物实验设计法对纳米结构PANI/Au/Al2O3电极的最佳制备工艺条件进行了优化。结果表明:分别固定聚合电流密度为40,60,80μA/cm2进行三阶段聚合,当聚合电流密度按由小到大顺序,所得的PANI/Au/Al2O3电极稳定性最好。固定聚合电量为35 m C,当三阶段电量比为0.35∶0.33∶0.32时,对于9 958×;10-6丙酮得到最大的感测电阻变化率为7.55%。丙酮气体浓度在(475~1 189)×;10-6与(23~118)×;10-6范围内,对应灵敏度分别为1.2×;10-3和6.4×;10-3%/10-6,平均响应时间为3 min。
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