作者：张燕琴,邢维巍,景标 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2016年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2016020020 DOC编号：DOCCGJS2016020029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《压阻型压力传感器的零点温漂及其补偿技术》PDF+DOC1999年第04期 孙以材,魏占永,孙新宇,高振斌,刘惠丽 《压阻型压力传感器灵敏度温漂及其补偿技术》PDF+DOC1998年第01期 孙新宇,王鑫,高振斌,孟庆浩,杨瑞霞,孙以材 《利用计算机来求压力传感器的补偿电阻》PDF+DOC1999年第03期 魏占永,刘惠丽,范兆书,孙以材 《‘SIMOX’(氧注入隔离):一种用于高温硅传感器的工艺》PDF+DOC1990年第02期 黄庆安 《带温度补偿的半导体集成压力传感器》PDF+DOC1987年第Z1期 陈怀溥,王思杰 《CMOS集成硅压力传感器》PDF+DOC1989年第01期 T.Ishihara,何大安 《固态压阻压力传感器的设计与应用》PDF+DOC1986年第12期 王文襄 《关于硅压阻型圆膜片式压力传感器光刻掩模版的设计方案》PDF+DOC1985年第02期 曹洪清 《压力传感器灵敏度电压非线性分析》PDF+DOC2004年第01期 宋青林,孙以材,多旭亮 《压力传感器的零点电漂移与反向漏电问题》PDF+DOC2006年第04期 赵卫萍,孙以材,宫云梅,常彬

    • 针对硅压阻压力传感器提出了一种基于电桥本身参数的温度自补偿方法，并设计了一种差分输入、双参数输出的高精度处理电路用以获得电桥参数。该电路用简单元件搭建差分输入的电荷平衡式V/F转换器，根据不同组态的频率输出解算电桥参数。该电路巧妙地利用差分输入方式消除了共模电压引起的误差，巧妙借用参考电阻消除了基准频率的影响，最终的输出频率只与被测量和参考电阻有关。经实验验证，电桥电阻的测量精度能达到0.006 8%，经补偿后的压力传感器精度可达0.039%，相比补偿之前提高了一个数量级。

    📙 相关资料

    1. 《压阻型压力传感器的零点温漂及其补偿技术》PDF+DOC 本文分析了压阻型压力传感器的零点温漂产生的原因，并介绍几种补偿技术。...
    2. 《压阻型压力传感器灵敏度温漂及其补偿技术》PDF+DOC 就压阻型压力传感器的灵敏度温漂问题进行述评，分析了灵敏度温漂产生的原因并提出解决灵敏度温漂的多种补偿方法。...
    3. 《利用计算机来求压力传感器的补偿电阻》PDF+DOC 补偿传感器热漂移的方法很多，采用电阻补偿是一种简便而常用措施，但补偿电阻的计算非常复杂，如果用计算机来解决，问题就容易多了。...
    4. 《‘SIMOX’(氧注入隔离):一种用于高温硅传感器的工艺》PDF+DOC 硅压阻应变计已广泛应用，尤其是对压力传感器.我们从最常用的工艺比较知道，到目前为止，它们之中没有一个成功地得到所有所需的量(表1).感谢SIMOX工艺，它使得在同一传感器上同时得到所有的优点。...
    5. 《带温度补偿的半导体集成压力传感器》PDF+DOC 本文介绍一种带温度补偿电路的单块集成压力传感器。加于传感器桥上电压V_B和电桥输出电压△V_0由下式给出：...
    6. 《CMOS集成硅压力传感器》PDF+DOC 新型的CMOS集成硅膜压力传感器由一个含四个压阻元件的电桥电路，一个放大器和一个新设计的能抑制电源电压变化和温度漂移的激励电源电路组成。敏感元件用自准直双元硅门CMOS工艺技术制得。方形的硅膜片由异向腐蚀剂N_2H_4&#183；H_2O经腐蚀加工而成。在0～70℃范围内，灵敏度和偏置电压的......
    7. 《固态压阻压力传感器的设计与应用》PDF+DOC 本文介绍了固态压阻压力传感器的敏感芯片、工艺制作、装配结构设计思想和主要技术性能，并对这类压力传感器的应用作了简要说明。...
    8. 《关于硅压阻型圆膜片式压力传感器光刻掩模版的设计方案》PDF+DOC 压阻效应的历史是从一九三○年对金属的应力——形变特性研究开始的.Smithis于一九五四年开始报导硅与锗的压阻效应理论.而后，美国人首先于六○年前后在这种理论的应用研究方面取得可喜成果.六○年九月，加利福尼亚州的“利登”公司研制出“轻型中央大气数据计算机系统”(歼击机：H=2440~M，M=0.2～......
    9. 《压力传感器灵敏度电压非线性分析》PDF+DOC 实验发现压阻型压力传感器的压力输出信号与外加电压并不是线性关系，存在着灵敏度电压非线性。本文指出组成压阻型压力传感器电桥的电阻受温度、输入电压、压力的共同影响，在此基础上提出非线性扩散电阻的多维模型。依据此理论模型，对灵敏度电压非线性现象的成因进行了理论分析，并利用其中受电压控制的电压源及其扩展功能......
    10. 《压力传感器的零点电漂移与反向漏电问题》PDF+DOC 指出过去在标征压力传感器的指标时，忽略了力敏电阻的非线性、零点电漂移、反向漏电流，但是这些问题对压力传感器的质量却有很大的影响；重点讨论了零点电漂移，并从理论上分析指出：零点电漂移起因于力敏电阻的非线性，可利用零点电漂移消除压力传感器的零热点漂移；讨论了造成力敏电阻非线性、电漂移、漏电流的各种因素，......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。