作者：时轮,王池平,王鹤,许黎明,陈家宝 单位：中国仪器仪表学会;上海工业自动化仪表研究院 出版：《自动化仪表》2017年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDYB2017040150 DOC编号：DOCZDYB2017040159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 光栅干涉仪测量是精密位移检测系统中常用的检测方法，具有较高的检测分辨率。为进一步提高光栅干涉仪位移检测分辨率，通过对光栅干涉条纹信号的分析，提出了一种基于衍射光栅相位移动的超精密位移定位检测新方法。采用衍射光栅作为测量元件，通过在经典的衍射光栅位移检测系统中加入光电传感器的相位运动，改变衍射光栅系统的接收相位。其方法是调整光栅干涉仪系统，使得传感器接收视场中只有两个条纹；在目标定位运动台的最后定位阶段，使接收系统的光电传感器在检测视场的两个干涉条纹间进行移动，即改变了光栅干涉仪的接收相位。这种位移检测方法突破了检测元件本身的物理限制，在理论上可以获得亚纳米级以上的超高位移检测分辨率。依据相位移动原理，搭建了具有相位移动功能的光栅干涉仪超精密位移检测定位系统。通过定位检测试验证明了所提方法的有效性。

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