作者：葛羽屏 单位：中国物理学会光散射专业委员会;四川省物理学会 出版：《光散射学报》2017年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGSSX2017020150 DOC编号：DOCGSSX2017020159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文研制了一种光纤耦合湿敏监测装置，此装置采用MEMS微位移传感器来进行湿敏微腔耦合位置的辅助校准，再用光强传感器对耦合输出的光波进行湿度感测和量化。这种基于MEMS位移传感器的耦合位置校准方法与现有的校准平台相比，无需外加太多繁琐、庞大的仪器装置，就可获得精准又便捷的校准效果。另外在传感系统后端可进行可编程控制程序开发，用加载的数据采集卡来实现湿度敏感单元敏感量的采集与显示。

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