作者：郑雨薇,朱蕴璞 单位：南京机械工程学会;南京机电产业(集团)有限公司 出版：《机械制造与自动化》2017年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZZHD2017020510 DOC编号：DOCZZHD2017020519 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 电容式MEMS加速度计是MEMS加速度计的一种主要的形式。通过对MS3110的应用研究，了解其使用性能和参数设置方法，在此基础上将该芯片用作电容式MEMS加速度计的电容输出接口，实现对该类传感器的高分辨率微电容检测。实验结果表明，设计的基于MS3110的微电容读出电路有良好的稳定性和线性度。

    📙 相关资料

    1. 《两轮平衡车控制系统设计》PDF+DOC 本文简单介绍了自平衡小车的发展状况及理论基础，随后采用了陀螺仪、加速度计、倾角传感器、测距仪等传感器和AVR单片机作为控制系统，并结合PID算法设计了两轮自平衡小车。...
    2. 《微硅加速度传感器的发展》PDF+DOC 本文介绍了微硅加速度传感器自六、七十年代发展至今，其代表产品的特点，对微硅加速度计三种典型代表形式进行了分析，指出其优缺点，并对目前微硅加速度计的发展趋势－检测空间加速度的三维加速度计进行了重点讨论。...
    3. 《石英电容伺服加速度计》PDF+DOC 石英电容伺服加速度计是应用甚广的一种传感器，对它的研究是很有意义的，本文是对该传感器研究成功后进行的总结，对传感器的原理、特点作了介绍，并采用控制理论的经典方法，对传感器的性能作了分析计算，对从事该传感器的同志有一定的参考价值。...
    4. 《升特公司为电视应用将易用的电容式接近触摸传感器平台进行了优化》PDF+DOC 升特公司(Semtech)发布了一个易于使用的电容式检测IC新平台，该平台是专门为下一代高能效的触摸键电视应用而优化的。8信道的...
    5. 《一种适用于MEMS陀螺仪的高性能电容读出电路》PDF+DOC 针对音叉式体硅MEMS陀螺仪传感器，提出了一种新颖的电容读出电路结构，该结构对共模电压漂移不敏感，能消除电容不匹配引入的误差。相关双采样(CDS)技术有效降低了电路的低频噪声和电压失调的影响。采用了一种简化的微陀螺传感器仿真模型，用于读出电路与微传感器的联合仿真。读出电路在0.35μm2P4M标准C......
    6. 《二维簧片重力梯度仪检测方法探讨》PDF+DOC 本文利用簧片悬挂二维扭摆，并结合二维电容微位移传感器技术开展了重力梯度测量装置的参数设计和检测方法探讨。初步设计结果表明，该簧片重力梯度仪系统周围的梯度分量WXX-WZZ的分辨率可以达到5E，WXY的分辨率可以达到2E，WXZ的分辨率可以达到2E，WYZ的分辨率可以达到3E，满足了在地球表面重力梯度......
    7. 《单电容式及差分电容式MEMS传感器检测系统》PDF+DOC 传感器技术是信息社会的四大支柱之一，传感器和计算机结合形成的智能系统大大的拓展了人类生活的空间。在传感器家族中，根据电容的物理特性制作的传感器占有重要地位。电容传感器是很好的状态传感器，可提高电容检测，尤其是微小电容检测的精度，是目前测控技术的热点。本文重点介绍一套微小电容差分高精度检测电路，该套电......
    8. 《一种小型电容敏感式加速度计的研制》PDF+DOC 利用弹性良好的铍青铜为材料制作加速度计中的敏感振动元件，研制出电容敏感式加速度计。设计了一种提取差动电容信号的检测电路。给出了电路中所使用的电子元器件，经分析求解得出了电路的输出电压和传感器信号拾取电容变化量之间的正比例关系。经过实验测试，加速度计的灵敏度大约为391.12mV/(m.s-2)。...
    9. 《速度传感器与加速度计的互易校准方法》PDF+DOC 本文给出了速度传感器与加速度计互易校准的互易原理和校准方法．该校准包括两个试验，它们分别给出两传感器的灵敏度之比及其乘积．该方法的核准精度为１％左右．...
    10. 《高性能可变电容加速度计》PDF+DOC 本文介绍一种采用硅微加工技术制作的可变电容式加速度传感器.传感器采用了中位面、平面片悬置，气体阻尼和过量程止动.传感器由三块硅基片制成，硅基片采用了阳极粘合技术粘到硅酸盐玻璃镶嵌物上.典型的传感器有效电容为7pF，修正电容为3pF，响应为0.05pF/G，谐振频率为3.4kHz，阻尼临界值为0.7.......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。