作者：张鹏,陈洪娟,桂永雷,孙立凯,崔洪亮 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2017年第07期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2017070050 DOC编号：DOCBDTQ2017070059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 综述了光泵原子磁力仪的发展过程及技术指标，介绍了基于MEMS的光泵原子磁力仪的现状，总结了光泵原子磁力仪的主要应用。对基于MEMS技术的光泵原子磁力仪的发展应用前景提出了建议，基于MEMS技术的光泵原子磁力仪在未来也会成为空间磁场分布测量的重要手段，为航空、船舶、医疗诊断等领域提供重要支撑。微型化的原子磁力仪甚至有望集成到家用医疗设备或嵌入到可穿戴设备中去，这将成为原子磁力仪进入消费电子领域的突破口，基于MEMS技术的光泵原子磁力仪会成为新一代磁测量产品的标志，成为磁测量民用市场不可替代的产品。

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