作者：葛益娴,彭波,张鹏,赵伟绩 单位：中国电子科技集团第四十四研究所 出版：《半导体光电》2017年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTG2017020130 DOC编号：DOCBDTG2017020139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《硅压力传感器中硅玻璃阳极键合的热应力分析》PDF+DOC2009年第03期 张强,王鸣,戎华 《基于双岛结构的多晶硅纳米薄膜压力传感器》PDF+DOC2018年第02期 陈雪娇,黄元庆,郑志霞,林振衡 《薄淀积膜压阻系数π∥π⊥测量》PDF+DOC1995年第04期 许德华,祝冰 《碳化硅压力传感器结构仿真及优化》PDF+DOC 李帅,王建平 《硅玻璃阳极键合绝压压阻式压力传感器中的残余应力》PDF+DOC2008年第02期 许东华,张兆华,林惠旺,刘理天,任天令 《MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制》PDF+DOC2007年第Z1期 庞程,赵湛,杜利东 《康铜薄膜压力传感器的有限元分析》PDF+DOC2013年第15期 李琦,武文革,李学瑞,范鹏 《薄膜压力传感器在土工试验中的适用性初探》PDF+DOC2017年第S1期 张紫涛,徐添华,徐韵,王幼行 《应变式油膜压力测量传感器特性研究》PDF+DOC2006年第04期 翟霄雁,马金奎,路长厚 《一种扭摆式硅微机械加速度传感器》PDF+DOC2006年第08期 毋正伟,陈德勇,杨苗苗,徐磊

    • 阐述了一种利用阳极键合技术加工的光纤法布里-珀罗MEMS压力传感器的工作原理，建立了考虑阳极键合产生的热应力作用下边界固支的圆膜受外加压力的薄膜形变量公式。利用有限元分析软件ANSYS对与玻璃环键合后实际结构中的膜片在压力作用下的挠度变化进行模拟，采用麦夸特(Levenberg-Marquardt)算法对模拟结果进行拟合修正，曲线拟合度达99.99%，得到了键合后实际结构中硅膜在外加压力作用下的形变量拟合公式。修正公式的曲线与实际ANSYS模拟所得数据拟合曲线的误差小于0.01%。该研究对膜片型光纤压力传感器的结构参数设计和广泛应用具有重要的理论指导意义。

    📙 相关资料

    1. 《硅压力传感器中硅玻璃阳极键合的热应力分析》PDF+DOC 由于硅与玻璃阳极键合需要在相对较高的温度下进行，因此材料之间会因热膨胀系数失配而产生较大的热应力，该应力对压力传感器的性能影响较大。对采用单晶硅横膈膜作为敏感膜与玻璃环阳极键合形成压力参考腔的封装，用有限元方法对硅玻璃环键合后因温度变化所产生的应力分布进行了系统仿真分析，并采用泰曼-格林干涉仪对键合......
    2. 《基于双岛结构的多晶硅纳米薄膜压力传感器》PDF+DOC 为解决传统半导体压力传感器温度特性差、非线性度高等问题，设计一种基于双岛结构的多晶硅纳米薄膜压力传感器。利用有限元分析软件分析硅膜结构的应力分布规律，确定力敏电阻的最佳布局，进一步提高了传感器的灵敏度。这种压力传感器兼具温度特性好、灵敏度高、线性度好等综合性能。...
    3. 《薄淀积膜压阻系数π∥π⊥测量》PDF+DOC 半导体薄膜开始用于力敏器件，评价薄膜自身的压阻特性是十分重要的。但迄今报导的参数，通常是薄膜与基片粘附成一体的复合样品测量值，原因在于膜薄难剥，剥离之后测量也不易。建立等效模型，提出新的计算式，以便在基片淀积膜之前和之后，只作常规ε、Ｅ等测量，通过计算就可得到纯薄膜的压阻特性各参数，包括Ｋ、Ｋ、π、......
    4. 《碳化硅压力传感器结构仿真及优化》PDF+DOC SiC半导体材料因具备较大的禁带宽度、高临界电场强度、高热导率和高载流子饱和漂移速度而成为制作高温、高压、大功率及耐辐射电子器件的极有希望的材料。本文首先介绍了分析薄膜应变所用的弹性力学和板壳理论。...
    5. 《硅玻璃阳极键合绝压压阻式压力传感器中的残余应力》PDF+DOC 硅玻璃阳极键合技术因键合强度高，工艺简单而成为低成本绝压压力传感器的主要封装技术。但由于常规的硅玻璃阳极键合需要在相对较高的温度下进行且材料之间不可避免的热膨胀系数失配将产生较大的残余应力。实验采用有限元方法对硅玻璃阳极键合进行了系统的力学分析以减小残余应力对器件性能的影响。实验中采用硅玻璃阳极键合......
    6. 《MEMS硅膜电容式气象压力传感器的研制》PDF+DOC 基于MEMS的电容式压力传感器以其低成本高性能在气象测量中有着广阔的应用前景。利用ANSYS软件模拟接触式电容压力传感器的工作状态，得到硅膜的形变和应力分布状况。制作流程采用简单标准的工艺：利用KOH各向异性腐蚀进行硅片大面积、大深度腐蚀减薄，分析了其浓度配比对硅面平整度特性的影响，采用阳极键合形成......
    7. 《康铜薄膜压力传感器的有限元分析》PDF+DOC 为研究康铜薄膜的压阻特性，建立了一个压阻式压力传感器模型。康铜薄膜压力传感器采用悬臂梁结构作为弹性元件，用有限元分析软件ANSYS12.0对传感器的静态特性进行了仿真分析。通过改变载荷大小研究了传感器的线性度，发现传感器线性度良好、灵敏度较高；分析了康铜薄膜层位置和薄膜厚度对传感器输出特性的影响，得......
    8. 《薄膜压力传感器在土工试验中的适用性初探》PDF+DOC 薄膜压力传感器因其厚度小、柔软、测压单元面积小等特点，可准确测量土体应力及土颗粒间作用力，因而在土工试验中有着广阔的应用前景。初步探究了薄膜压力传感器在静力和动力土工试验中的适用性。首先，提供了结合3D打印技术，将薄膜压力传感器安装于土体内部设定位置上测量相应土体应力及颗粒间作用力的方法。其次，提出......
    9. 《应变式油膜压力测量传感器特性研究》PDF+DOC 对用于滑动轴承油膜压力测量的应变式压力传感器进行了改进设计，利用有限元分析软件ANSYS对其进行了分析，包括静力分析和模态分析。通过静力分析得到两个方向的应变的大小，并且通过比较决定应变片粘贴的方向，以获得较大的灵敏度。对边界最薄处进行了强度校核，画出了传感器的灵敏度曲线，通过模态分析得到传感器的前......
    10. 《一种扭摆式硅微机械加速度传感器》PDF+DOC 介绍了一种基于体硅微机电系统(MEMS)工艺制作的扭摆式硅微机械加速度传感器，对制作过程的一些工艺问题进行探讨，并提出相应的解决办法，主要涉及到硅-玻璃阳极键合、结构释放等关键工艺。对测试结果进行了初步分析，分辨力可以达到1mgn，测试&#177；1gn范围内线性度可以达到99.99%。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。