作者：Ross Yu,Enrique Aceves 单位：电子工业出版社;美国国际数据集团 出版：《今日电子》2017年第Z1期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZJR2017Z10130 DOC编号：DOCDZJR2017Z10139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 对半导体晶圆制造至关重要的是细致、准确地沉积多层化学材料，以形成数千、数百万甚至在有些情况下是数10亿个晶体管，构成各种各样复杂的集成电路(IC)。在制造这些IC的过程中，每一步都要精确计量不同的化学气体，而气体使用量差异会很大，这是由不同的工艺所决定。在大多数情况下，这些步骤是高度自动化的。有趣的是，尚未自动化的竟然是一个非常简单的步骤，这就是“保持气体充足供应”。在凌力尔特公司位于美国加利福

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