作者：王涛龙,梁庭,高利聪,张瑞,王心心,刘雨涛 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2015年第12期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2015120060 DOC编号：DOCYBJS2015120069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 据高场非对称波形离子迁移谱(high-field asymmetric waveform ion mobility spectrometry，FAIMS)原理，设计了一种微型生化气体传感器。在大气压环境下，采用波长116.5 nm、电离能为10.6 e V真空紫外灯离子源对样品进行电离。迁移管的制作采用厚膜工艺，将迁移区和检测区集成到了陶瓷芯片上，迁移区由上下两块平板电极构成，尺寸为20 mm&#215；10 mm&#215；0.45 mm；检测区尺寸为8 mm&#215；10 mm&#215；0.45 mm。搭建了相应的FAIMS外围检测平台，以丙酮和甲苯为样品进行实验，通过高场非对称波形离子迁移谱技术进行传感器的性能验证实验，实验得到了它们的FIAMS谱图，表明所设计的基于FAIMS原理的气体传感器可以实现离子分离和过滤功能。

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