《基于MEMS技术的非接触式人体静电测量装置》PDF+DOC
作者:闻小龙,彭春荣,杨鹏飞,陈博,夏善红
单位:中国科学院电子学研究所;国家自然科学基金委员会信息科学部
出版:《电子与信息学报》2017年第08期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZYX2017080080
DOC编号:DOCDZYX2017080089
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为解决传统非接触式静电仪工作时振动或旋转部件裸露在外,无法在静电高危区域使用,难以测量运动人体带电情况等难题,该文研制出基于MEMS电场传感器的非接触式静电测量装置。提出一种新型检测电极与敏感芯片相连结构,显著增大了电场感应面积,增强了灵敏度。设计11个检测电极分布式布置形成门体结构,成功实现人体头、肩、臂、手、腿、脚部位在运动过程中带电情况的同时测量。基于金属仿真带电人体,提出模拟应用现场的标定方法,准确实现了静电安检门的标定。该静电测量装置具有无裸露可动部件、安全性高、环境适应性强等突出优点,满足粉尘浓度高、易燃油气浓度高等恶劣环境下的使用需求。试验结果表明,该装置测量范围为-30~30k V,分辨力优于50 V,总不确定度优于3%。
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