作者：赵文杰,王欣,王暄,施云波,周真 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2016年第07期 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2016070130 DOC编号：DOCYQXB2016070139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《陶瓷微板热隔离气体传感器阵列热干扰分析》PDF+DOC2016年第03期 赵文杰,王暄,王欣,施云波,周真 《AlN陶瓷微热板MEMS传感器阵列设计与工艺实现》PDF+DOC2015年第08期 赵文杰,杨守杰,于洋,王向鑫,施云波 《利用前馈神经网络进行气体定性分析》PDF+DOC2000年第05期 曲建岭,王磊,高峰 《电子鼻的研究和开发现状》PDF+DOC1999年第08期 徐毓龙,徐玉成 《激光微加工制作纳米气敏传感器阵列的工艺及特性研究》PDF+DOC2004年第04期 柏自奎,王爱华,谢长生 《气体传感器阵列智能测试系统》PDF+DOC2004年第03期 贾建,李建平,高晓光,何秀丽 《AlN微热板气体传感器阵列热失稳特性研究》PDF+DOC2013年第12期 周真,赵文杰,施云波,王婷,于洋 《基于气体传感器阵列的室内空气品质监控系统》PDF+DOC2002年第11期 马学童,汪慧英,王磊 《国内畜产品新鲜度的无损检测研究进展》PDF+DOC2013年第01期 朱荣光,马本学,付威,葛建兵 《基于气体传感器阵列的易挥发化学品判别系统》PDF+DOC2008年第12期 马亚彬,李民强,郑鹏,刘锦淮

    • 具有高浓度、挥发性、强氧化性的液氯、氮氧化物等危化品泄露、爆炸的安全检测一直是一个难点问题，要求检测传感器具有较宽量程和抗腐蚀设计。基于Al N陶瓷的微热板半导体气体传感器阵列设计，采用耐腐蚀的Al N陶瓷为衬底，物理化学性能稳定的Pt膜作为信号和加热器电极，经杂化修饰的In-Nb复合半导体氧化物为敏感材料，结合柔性光刻剥离工艺和激光微加工工艺，制备了陶瓷微板热隔离气体传感器阵列。为验证传感器阵列热结构设计的合理性，进行了有限元热仿真分析，优化了设计结构。经静态气敏测试分析，传感器阵列对浓度体积比500&#215；10~(-6)的Cl_2和100&#215；10~(-6)的NO_2两种气体的气敏响应时间分别为30 s和60 s左右，灵敏度最高分别为275倍和4倍，且在0~500&#215；10~(-6)和0~100&#215；10~(-6)检测范围均具有良好的气敏特性，对Cl_2等高浓度宽量程危化品气体检测具有良好的应用前景。

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