作者：尹汐漾,高杨,韩宾,黄振华 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2016年第06期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2016060090 DOC编号：DOCYDSG2016060099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 体声波(BAW)谐振器受到质量负载时，谐振器的Butterworth Van Dyke(BVD)电路模型中会增加1个质量负载等效电感，为得到该电感与负载质量的量化关系，以便对BAW传感器进行系统行为仿真，该文提出了3D多物理场-等效电路仿真对比建模的方法。通过对比COMSOL Multiphysics软件的3D多物理场仿真结果与ADS的等效电路仿真结果得到质量负载等效电感和负载质量的量化关系。以一个薄膜体声波谐振器(FBAR)为例，介绍了该方法的详细过程，并得到案例中的量化关系为：质量负载等效电感每增加1nH，负载质量增加0.1ng。最后将该量化关系应用于基于Pierce振荡器的BAW传感器检测电路的系统级行为仿真。仿真结果表明，质量负载等效电感每增加1nH，振荡频率减小6 MHz，即振荡频率的变化情况与等效电路仿真结果相吻合，从而验证了该检测电路能用于BAW传感器的频率信号的检测。该量化方法同样适用于石英晶体微天平(QCM)。

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