作者：陈高丁,李红浪,柯亚兵,朱波,陈淑芬,何世堂 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2016年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2016040020 DOC编号：DOCYDSG2016040029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为提高硅酸镓镧(LGS)声表面波(SAW)压力传感器的灵敏度，研究了一种采用点压式压力传递结构的SAW压力传感器。理论上采用压电微扰理论和有限元法结合，使用有限元法获得压力作用下LGS基片的应力、应变，并将该应力、应变量代入叠加偏载的电弹方程和一阶微扰方程，求得传感器的压力灵敏度。计算表明0~0.4 MPa压力范围内其归一化压力灵敏度为0.065&#215；10-6/psi，与空腔结构LGS SAW压力传感器相比，该结构的灵敏度提高了约9倍。基于上述分析结构，制作了一种基于LGS(0&#176；，138.5&#176；，26.7&#176；)的点压式压力传递结构的SAW传感器，实验结果和理论分析吻合。

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