作者：林智雄,邹文平 单位：上海交通大学 出版：《》 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSYSY2017080200 DOC编号：DOCSYSY2017080209 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了改进微光机电系统中加速度集成化差、灵敏度低问题，采用过振保护、稳定性较好固支梁进行加速度传感系统设计。通过环形谐振腔和直波导耦合的方式实现微环谐振腔设计，利用控制波导长度参数实现耦合稳定性、强度等调节。理论分析了实现光强谐振、光放大的过程，固定的固支梁系统，得到了微环谐振腔波长，模型分析得出通过波长变化得到检测微环输出端的光谱变化。传感特性分析表明：微环谐振腔的输出光强谐振峰值高，自由频范围明显小，有利于测量高精度变化量；加速度变化量与输出光谱表现为线性关系，设计的加速度传感系统灵敏度可以达到50 pm/g。

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