作者：宋国庆,姚东媛,邹向光,谢胜秋 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2017年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2017050280 DOC编号：DOCCGQJ2017050289 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出了一种采用石英力敏谐振器(QFSR)—石英热敏谐振器(QTSR)的单片式压电谐振型石英压力—温度传感器(QPTS)，设计了单片式QPTS结构、石英压力传感器的无应力封接方案以及新型压力—伸缩力变换器。单片式QPTS由QFSR和QTSR构成，均采用AT切型，厚度切变模式工作，不同的是QTSR的长边取向与石英X轴的夹角为60&#176；。无应力封接方案使用石英、单晶硅、非晶态SiC、硼硅酸盐玻璃和柯伐合金的组合，并且利用石英化学刻蚀和物理修饰技术以及半导体的新工艺使QFSR和QTSR改性。其中，非晶态SiC层的制作是为了实现应力的缓冲：虽然硅和石英材料的热膨胀系数不匹配，可是二者之间的非晶态SiC层却能够良好地吸收其热应力，成为无应力结构。

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