作者：李艳宁,曾荟燕,吴森,刘璐,胡晓东 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2017年第02期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2017020030 DOC编号：DOCNMJM2017020039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计并制作了一种适用于原位纳米力学测试的原子力显微镜(AFM)测头.测头由光学检测系统和Z向压电陶瓷微位移机构组成.其中光学检测系统采用光杠杆与显微镜同轴光路检测探针形变，压电位移机构内置电容传感器可实现探针进给量的闭环控制.标定实验表明该测头闭环位移分辨力优于10 nm，在标定范围内具有很好的线性.利用该测头对某型微悬臂梁法向弹性常数进行了测量，测得值与采用具有溯源性的标定方法所得结果一致。

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