作者：朱文亮,王伶俐,王文闯,冯明海,刘伟康,李新建 单位：郑州大学 出版：《郑州大学学报(理学版)》2017年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZZDZ2017010130 DOC编号：DOCZZDZ2017010139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 以硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)为衬底、高纯金属铟为铟源，采用化学气相沉积法制备了氧化铟(In_2O_3)/Si-NPA复合纳米体系，并对其表面形貌和结构进行了表征.结果表明，In_2O_3/Si-NPA中In_2O_3具有体心立方结构，其薄膜由粒径为100~400 nm的纳米颗粒和长约为1μm、直径约为300 nm的纳米棒组成，而这些纳米颗粒、纳米棒均由平均粒径约为19 nm的In_2O_3纳米晶粒组成.气体传感性能测试结果表明，In_2O_3/Si-NPA对低含量酒精具有较高的响应度和良好的选择性.当酒精的体积分数为2&#215；10~(-6)时，器件的响应值达到463%，响应和恢复时间分别为15 s和8 s。

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