作者：张武志 单位：中国半导体行业协会 出版：《中国集成电路》2017年第08期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJCDI2017080160 DOC编号：DOCJCDI2017080169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 白色像素(WP)是CMOS图像传感器(CIS)的关键参数指标，而光电二极管的离子注入是影响白色像素的主要因素。本文基于4-T结构N型光电二极管(NPPD)CMOS图像传感器，从光电二极管离子注入的剂量、能量和离子源种类三个方面，研究了对于两种不同白色像素的影响。首先，通过实验表明NPPD离子注入剂量是WP的主要产生因素，降低注入剂量可以同时减少两种WP的数量。其次，研究了NPPD离子注入能量对WP的降低作用，较低的注入能量同时减少了两种WP数量。第三，离子源种类也被研究用以改善WP，实验表明砷离子注入较磷离子注入主要减少了peak2区域的WP数量。

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