作者：何炫,周文和,李思思 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2017年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2017040020 DOC编号：DOCYBJS2017040029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 依据菲克第二扩散定律、Shibata和Looyenga等方程，并引入有效扩散系数和孔隙率的关系式，以考虑感湿膜孔隙率对湿敏元件响应特性的影响，创建了一个数值模型。通过实验结果和模拟结果的对比分析，验证了所述数值模型及数值方法用于湿敏元件动态特性研究的可行性。最后利用模型，借助Fluent软件对高分子栅状上电极平行板湿敏元件动态响应特性进行了数值研究，根据对模拟结果分析，发现有效扩散系数和孔隙率是制约湿敏元件动态性能的关键参数，合理增大膜孔隙率可进一步改善湿敏元件动态响应特性。同时，该模型能够揭示电容式湿敏元件结构参数，模拟结果可为微型湿敏元件动态特性的进一步研究提供借鉴。

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