作者：陈金龙,吴君正,张能辉 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2017年第09期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2017090040 DOC编号：DOCCGJS2017090049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 研究新型开孔变截面微悬臂梁传感器的等效法向刚度及其对固有频率的影响。首先，考虑微梁纵截面孔洞结构引起的弯扭耦合效应，利用二次积分法获得在自由端集中载荷作用下悬臂梁的挠度，基于弹性材料的Hooke定律建立了微梁等效法向刚度分析的解析模型。然后，采用Rayleigh法获得了微梁的固有频率。最后，通过比对实验结果和有限元结果对解析模型进行了验证。研究表明：解析模型对于开孔变截面微梁刚度和频率的预测和标定具有较好的精度；微梁的等效刚度和固有频率与跨宽比负相关，却与内外宽度比正相关。有关结论可为新型变截面微纳机械传感器的设计提供理论依据和参考。

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