作者：冯旭刚,杜翠翠,章家岩 单位：中国兵工学会;中国兵器工业第二0五研究所 出版：《应用光学》2017年第03期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYYGX2017030270 DOC编号：DOCYYGX2017030279 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了提高纳米坐标测量机探针的测量精度，且能满足对复杂曲面或微结构进行精确测量的要求，提出了一种新颖的基于微探针系统的光纤布拉格光栅(FBG)探针。该探针具有较高灵敏度和可重复性。提出该新型FBG探针，即探针里有一个熔融的球形顶端，FBG作为应变传感器内置在测杆上。介绍了光纤探针的基本原理，并利用有限元软件ANSYS 11对探针的应变分布在轴向和横向载荷两种典型配置分别进行了仿真分析，结果表明仿真分析和理论计算相吻合。通过实验对光纤探针的灵敏度和分辨率分别进行测试。实验结果表明，在轴向载荷条件下，用位移分辨率为1.5nm的压电换能器对探针进行性能测试，得到光纤探针的测量分辨率为60nm。即光纤探针具有较高的灵敏度和分辨率，其性能满足实际测量需要。

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