作者：宋美杰 单位：河北教育出版社有限责任公司 出版：《教育教学论坛》2016年第19期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJYJU2016190820 DOC编号：DOCJYJU2016190829 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文分析了测厚系统的测量原理，并对整个测量系统的硬件组成进行了介绍，最后对系统进行整体测试。结果表明，该系统测量薄膜厚度可以达到很好的测量效果，具有很高的应用价值。

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