作者：王朝杰,王红亮,段培盛,陈一波,胡晓峰 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2017年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2017020330 DOC编号：DOCYDSG2017020339 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 建立电容式微机械超声传感器(CMUT)微元三维有限元模型，经过分析CMUT微元不同结构对CMUT性能的影响，得到CMUT结构参数。设定工作频率范围1~2 MHz，工作电压Vdc&lt；100V，首先，利用有限元模型进行模态分析研究薄膜参数与一阶频率的关系，以此确定薄膜参数；然后，在阐述相关理论和静态分析的基础上，仿真、分析空腔对CMUT性能的影响，进而确定空腔高度；最后，通过静电-机械耦合分析和计算机电耦合系数优化电极参数。对所设计的CMUT结构进行仿真验证，工作频率为1.65 MHz，塌陷电压为68 V，满足应用要求。

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