作者：曲昊,彭倍,曾建,周吴,于慧君 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2016年第10期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2016100030 DOC编号：DOCCGJS2016100039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 梳齿式电容加速度传感器检测电容的测量结果会受到除感应电容之外的其他等效电路参数的影响。梳齿式电容加速度传感器的结构与多层瓷片电容(MLCC)的结构类似，因此可以借鉴多层瓷片电容中等效电路参数的研究方法对电容加速度传感器中的等效电路参数进行研究。本文将对梳齿式电容加速度传感器检测结构中的等效电路参数进行建模，并分析这些等效电路参数对测试结果产生的影响。

    📙 相关资料

    1. 《寄生电容对电容式加速度传感器输出电压的影响》PDF+DOC 电容检测是保证电容式加速度传感器正常工作的重要条件之一。传感器中敏感结构间的寄生电容会对电容检测产生影响。文中建立了传感器敏感结构的等效模型，分析了寄生电容对输出电压产生的影响。文中首先分析了电容式加速度传感器中检测电路的工作原理。其次，根据敏感结构的组成分析待测电容以及寄生电容的分布情况，以及寄生......
    2. 《梳齿式结构电容式加速度传感器设计》PDF+DOC 选择梳齿式差分电容结构对电容式加速度传感器进行设计，阐述其优势和原理，并选用相匹配的传输电路，同时根据数据曲线对敏感质量块和挠性梁结构参数的选择提供参照。...
    3. 《不等高梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器》PDF+DOC 利用ICP体硅深加工，本文设计分析了一种三轴三质量块的电容式加速度传感器。水平方向采用定齿偏置配置梳齿式，垂直方向采用不等高对称梳齿式；对称的布局方式，解决了各个轴向的相互干扰问题。利用有限元分析工具对设计进行模拟，证实了设计的合理性和可行性。X、Y轴向和Z轴向的灵敏度分别为1.2 fF/g和1.0......
    4. 《基于MEMS技术的微电容式加速度传感器的设计》PDF+DOC 给出了一种基于MEMS技术制作的微电容式加速度传感器的结构及工艺。为了准确地把握这种微电容式加速度传感器的力学和电学特性，仔细地建立了它的力学模型。在此基础上，详细分析了它的动态特性———模态。并用有限元的方法分析和计算了微电容式加速度传感器的加速度与电容信号的非线性输入输出关系，并结合实测参数验证......
    5. 《一种差动电容式加速度传感器设计的理论研究》PDF+DOC 设计了一种差动式测振传感器，建立了差动电容式加速度传感器的数学模型，并通过电容的推导计算对其进行了特性分析。对检测电路的结构进行了分析，给出了典型电路结构，推到了电路参数及性能；本设计具有电路结构简单，频率范围宽约0～500Hz，线性度小于1%，灵敏度高，输出稳定，测量误差小等优点；通过实验，各项性......
    6. 《叉指电容式汽车安全气囊硅微加速度传感器的设计和分析》PDF+DOC 本文对一种基于MEMS技术的2-D梳状插指电容加速度传感器的设计方案进行了分析、研究和仿真。该加速度传感器使用同一衬底上整合的独立的相互垂直的梳状插指电容结构，实现平面上的加速度监测，灵敏度和分辨率满足汽车安全气囊用要求。...
    7. 《一种电容式加速度传感器的温度补偿电路》PDF+DOC 在电容式加速度传感器系统中，与电容式加速度敏感头相连的外围电路普遍存在温度漂移的问题。利用差分运算放大电路作为传感器的温度补偿电路，并描述了其工作原理。实验结果表明，该温度补偿电路可有效抑制传感器外围电路的温度漂移，把-40~60℃温度范围内的温漂抑制在20 mV内，且对电容式加速度传感器的线性度也......
    8. 《MMA8451Q 3轴电容式MEMS加速度传感器》PDF+DOC MMA8451Q是一款具有14位分辨率的智能低功耗、三轴、电容式微机械加速度传感器。这款加速度传感器具有丰富的嵌入式功能，带有灵活的用户可编程选项，可以配置多达两个中断引脚。嵌入式中断功能可以节省整体功耗，解除主处理器不断轮询数据的负担。同时具备访问低通滤波数据和高通滤波数据的功能，可以将所需的数据......
    9. 《基于MXT9030的微电容加速度计系统搭建》PDF+DOC 阐述了三明治式电容微加速度计的工作原理，并在此基础上介绍了一种具体的三明治式微加速度计的设计：采用一种通用的电容读取电路MXT9030实现对电容式微加速度传感器的信号检测，通过微控制器的控制，调节MXT9030电路的内部参数，使加速度计系统具有良好的线性度及灵敏度。实验结果表明，该设计可满足较大范围......
    10. 《倾斜梳齿的MEMS电容式加速度传感器自我标定特性研究》PDF+DOC 研究MEMS电容式加速度传感器的自我标定方法，模拟机械振动台标定，提高标定效率和降低标定成本，并从理论上分析了DRIE工艺误差对传感器自我标定精度的影响。分析的传感器模型梳齿间距为4μm，厚度80μm，传感器自我标定以模拟幅值为1 g的振动台标定为例，针对DRIE工艺加工的高深宽比梳齿电容存在正负侧......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。