作者：张燕,王生钊,祝烨,张杰,刘忠超 单位：中国电子学会 出版：《电子技术与软件工程》2017年第10期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZRU2017100980 DOC编号：DOCDZRU2017100989 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文对基于SBA-15的QCM湿度传感器进行了三维有限元精确建模与数值仿真，分析了SBA-15湿敏薄膜材料对传感器的振动模态、中心频率、电学阻抗及Q值等性能参数的影响，为纳米湿敏薄膜的成膜工艺及新型QCM湿度传感器的优化设计与制造提供了重要的理论参考依据。

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