作者：王合文,吴玉梅,郑方燕,但敏,樊星辰 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2017年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2017020110 DOC编号：DOCCGJS2017020119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了解析安装参数与测量精度的关系，根据纳米时栅的基本测量原理，构建出与动、定尺间距d0和正对面积变化量ΔS相关的数学模型。通过理论推导，分析了动尺在yz平面倾斜、xy平面偏转时会导致两路驻波幅值不等、相位偏移，从而给测量结果带来二次误差。实验结果表明通过调整动尺在yz平面与xy平面上的安装，对极内原始误差由4.86μm降低至0.84μm，证明动尺在yz平面倾斜、xy平面偏转为产生二次误差的主要原因。在行程200 mm测量范围内，传感器误差峰峰值为400nm。实验结果验证了理论分析的正确性，该分析为传感器结构参数优化和实验方法的改进提供了有力的支撑，为进一步提升传感器精度提供了可靠的理论依据。

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